半导体扩散用8英寸石英钟罩和保温筒加工技术评审鉴定结果公示

委 托 人：北京凯德石英塑料制品有限公司

评审鉴定时间：2009年6月1日

地 点：北京市

★评审鉴定结论：

1、该项目攻克了大尺寸石英钟罩（外径342 mm、内径328mm、高930mm）和复杂结构石英保温筒加工技术，主要包括：

（1）研发了石英钟罩的封头和法兰加工、一次成型焊接、焊接变形量控制、全熔焊接、焊接应力控制、研磨及退火炉最终应力控制等关键技术；

（2）研发了成型与退火配合的加工、基准钉粘接、缝隙喷砂等技术，解决了石英保温筒的透明和不透明两种不同材质石英板混合焊接、结构复杂、易炸裂等技术难题。

2、开发的8英寸石英钟罩和保温筒，经国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心检测和用户使用表明，产品满足使用要求。加工技术居国内领先，并达到国外同类技术的先进水平。

3、该项目产品填补了国内空白，对推动国内石英玻璃加工业、微电子工业和相关产业的技术进步有重要意义。

建议进一步提高成品率，促进成果的量产化进程，以满足市场需求。

特此公示。

对该项目的鉴定如有异议，请于公示之日起20日内向中国建筑材料联合会科技部反映（电话：010-88376345，联系人：周清浩）。

中国建筑材料联合会科技部

鉴定委员会名单