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半导体扩散用8英寸石英钟罩和保温筒加工技术评审鉴定结果公示

来源:  时间:2009-06-05  作者:

委 托 人:北京凯德石英塑料制品有限公司

评审鉴定时间:2009年6月1日

地 点:北京市

★评审鉴定结论:

1、该项目攻克了大尺寸石英钟罩(外径342 mm、内径328mm、高930mm)和复杂结构石英保温筒加工技术,主要包括:

(1)研发了石英钟罩的封头和法兰加工、一次成型焊接、焊接变形量控制、全熔焊接、焊接应力控制、研磨及退火炉最终应力控制等关键技术;

(2)研发了成型与退火配合的加工、基准钉粘接、缝隙喷砂等技术,解决了石英保温筒的透明和不透明两种不同材质石英板混合焊接、结构复杂、易炸裂等技术难题。

2、开发的8英寸石英钟罩和保温筒,经国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心检测和用户使用表明,产品满足使用要求。加工技术居国内领先,并达到国外同类技术的先进水平。

3、该项目产品填补了国内空白,对推动国内石英玻璃加工业、微电子工业和相关产业的技术进步有重要意义。

建议进一步提高成品率,促进成果的量产化进程,以满足市场需求。

特此公示。

对该项目的鉴定如有异议,请于公示之日起20日内向中国建筑材料联合会科技部反映(电话:010-88376345,联系人:周清浩)。

中国建筑材料联合会科技部

鉴定委员会名单

序号

姓名

工作单位

职称/职务

专业

1

田民波

清华大学

教 授

材料科学

2

王玉芬

中国建筑材料科学研究总院

教 授

材料

3

石 瑛

中国半导体协会支撑业分会

教授级高工

材料

4

张佰恒

中国建筑玻璃与工业玻璃协会

高级工程师

管理

5

吴 洁

国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

高级工程师

硅酸盐工程

6

戴康勤

北京中关村海外科技园有限责任公司

高级工程师

材料

7

徐继平

有研半导体材料股份有限公司

工程师

化学

浏览次数:8595  
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